スパッタリング装置

成膜室内のプラズマ

 　

窒化ケイ素に発生した
リングクラック

 当研究室では，
連続Ｘ線を用いた材料の非破壊検査技術の開発
表面改質技術の応用による機械材料の高機能化
セラミックス材料や薄膜の力学特性評価技術の開発
廃ガラスを用いた屋上緑化用基盤の開発
をはじめとし，幅広く研究を行っています。

TiN被覆鋼の破面
　

廃ガラス発泡化材上での
芝の植生実験

走査型X線分析顕微鏡による
結晶粒の観察

 　


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